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          2. 產品展示
            PRODUCT DISPLAY
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            氣體質量流量控制器

            產品時間:2021-09-08

            簡要描述:

            Aera流量計 氣體質量流量控制器
            FC-DR980C
            ◆ 流量可覆蓋10sccm-30slm包含腐蝕性氣體(相對于N2)
            ◆ 快速反應
            ◆ 數字和模擬通訊控制模式,橡膠或金屬密封
            ◆ 高可靠性和實用性

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            Aera流量計 氣體質量流量控制器

            FC-DR980C  FC-DR981C

            Aera創建于美國,是一家提供流體測量和控制產品及全套解決方案的跨國高科技企業,擁有研發及運營團隊,掌握行業先進的流體測量及控制技術,專注于高科技工業領域的廣泛應用,包括半導體、新能源、 新材料,平板顯示、數據存儲、工業鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產品包高性能的氣體質量流量控制儀器及測量儀器,氣體工藝整體解決方案和服務支持方案。Aera始終致力于為客戶開發優化的解決方案及相關產品,客戶包括但不限于原始設備制造商(OEM)和終端用戶(END-USER)。

            氣體質量流量控制器性能:

            數字和模擬兩用型控制

            快速的響應

            高精度

            高度的可靠性和穩定性

            易于整合——標準連接器和尺寸

            • 規格

            • FC-DR980C

            • Full Scale Range (N2 Eqv)

            • 單氣體2-5000sccm

            • Control Valve Type 閥門類型

            • 常開式或常閉式螺線管 (NC or NO)

            • Fitting
              接頭

            • 1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容
              IGS 底部/表面貼裝(c或w密封)

            • Seals 密封

            • 橡膠 Viton金屬

            • Response Time 響應時間

            • ≤1Sec(超過滿量程10%)

            • Accuracy
              精度

            • 25%-100%:≤±1%S.P (滿量程25%到100%)
              2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (滿量程2%到25%)

            • Linearity 線性度

            • ≤ 滿量程的±0.5%

            • Repeatability 重復性

            • ≤ 滿量程的±0.15%

            • Differential Pressure 壓差

            • 7 - 40psi

            • Leak lntegrity 漏率

            • Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)

            • Control Range 控制范圍

            • 滿量程的2-100%

            • Max Operating Pressure 高操作壓力

            • 70psi

            • Proof Pressure 承受壓力

            • Z大值140psi

            • Communication Type 通訊模式

            • 模擬0-5V / RS485

            • Input Power
              輸入功率

            • +15VDC ±2% at 100mA
              -15VDC ±2% at 200mA

            • Command Signal 輸入模擬信號

            • 模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗>1MΩ)/數字信號 0-100%

            • Output Signal 輸出模擬信號

            • 模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗>2KΩ)/數字信號 0-100%

            • Power Consumption 功耗

            • 4.5W

            • Temperature Range 溫度范圍

            • 5-45 Deg C

            • Materials 材料

            • 316